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ZPT-F-M精密气浮隔振光学平台

修改时间:2008-08-20 10:53:30 浏览次数:64387次

ZPT-F-M精密气浮隔振光学平台

应用领域:

适合于显微镜、光路测试、光学测量、激光干涉、激光扫描、光谱全息实验等领域应用

产品特点:

中航世纪公司依托于航空工业人员背景研发制造的一款通用性隔振光学平台,能够满足精密负载对振动隔离需求,且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案,改善振动环境,以发挥设备仪器的最佳效能。

优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。

自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品,标配优质超静音压缩机。

台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为1cr17优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,面板具有M6螺孔阵列,易于固定光学元件。

隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固可靠。

■工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。

技术指标:

平面度:< 0.05mm/m2

表面粗糙度:< 0.8μm

固有频率;x方向:1.2Hz~2.0Hz  y方向:1.2Hz~2.0Hz

■减振效率:x方向<5Hz时:86%~92%    y方向<5Hz时:84%~90%

                x方向<10Hz时:90%~96%  y方向<10Hz时:88%~93%

振幅:< 1.2μm

荷载能力:800kg/m2

重复定位精度:±0.05mm
产品型号:(接受客户任意规格定制生产)

台面细节图

精密研磨处理

表面平整精度

内核采用粘结蜂窝芯及隔离杯结构或焊接钢制蜂窝结构(用户可选)

装备地点:北京航空航天大学       产品规格:1500*1000*800mm

装备地点:南京大学      产品规格:2000*1200*800mm

装备地点:清华大学深圳研究院       产品规格:4000*1500*800mm

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